万业企业（外延式并购拓展半导体设备业务 房地产商万业企业核心竞争力何在）

每经记者：朱成祥 每经编辑：陈俊杰

说起万业企业（SH600641，股价19.01元，市值182.1亿元），投资者们最熟悉的或许还是其房地产商的身份。但如今，万业企业通过外延式并购，逐渐发展起以离子注入机为主的半导体设备业务。12月20日上午，《每日经济新闻》记者致电万业企业证券部，针对上市公司未来是否将以半导体设备为主，房地产业务将越来越少的问题，工作人员表示肯定，“是的，公司目前在做转型”。

记者发现，万业企业除了离子注入机外，也在发展刻蚀机、薄膜沉积设备以及热处理设备。对于上市公司这些业务与国内主流厂商的技术差别，上述工作人员表示希望发送采访函至邮箱，以更为详细地解答。

万业企业通过邮件回复记者称：“公司自2015年起没有新增土储，正在不断深化战略转型，加速迈入半导体领域，同步做好现有存量房产的开发、销售工作。”

房地产商，这是万业企业过去的标签。半导体设备厂商，这是万业企业转型的方向。

2018年，万业企业收购上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”），正式进入离子注入机领域。

据Wind数据，自2018年以来，万业企业房地产业务持续下降，而半导体设备业务则在上升。2018年、2019年、2020年和2021年，其房地产业务营业收入分别为25.75亿元、17.33亿元、8.57亿元和6.81亿元；同期，专用设备制造营业收入分别为5810.52万元、8389.68万元、2176.02万元和1.23亿元。

可以看出，万业企业专用设备制造业务收入已经破亿。进入2022年，公司专用设备制造业务收入再度高速增长。2022年上半年，其专用设备制造业务营收8783.87万元，较上年同期增长150.86%。

相比之下，万业企业2022年上半年房地产业务营收仅为7821.15万元。专用设备制造业务已超过房地产业务，成为上市公司第一大业务。

据方正证券研报，2021年四季度，凯世通的低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机成功通过验证和验收，高能离子注入机顺利在另一家 12英寸集成电路芯片制造厂完成交付。

2022年一季度，凯世通获得重要客户的批量订单，累计新增集成电路设备订单超6.8亿元。2022年4月已成功向重要客户交付了批量订单中的首批大束流离子注入机，完成了多套设备的顺利发货，业务进入放量新阶段。

另据上市公司2022年中报，上半年凯世通新增获得3家客户多台低能大束流离子注入机采购订单，累计新增集成电路设备订单超7.5 亿元。2022年一季度，凯世通获得重要客户的批量订单，包含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，并与另一家集成电路制造厂签订了一台低能大束流离子注入机订单。2022年二季度，凯世通获得第三家集成电路制造工厂的3台低能大束流离子注入机订单。

相对于薄膜沉积、刻蚀机，离子注入机价值量相对较小。目前，晶圆制造过程主要包括7个相互独立的工艺流程：光刻、刻蚀、薄膜沉积、扩散、离子注入、化学机械抛光、金属化。其中，光刻、刻蚀、薄膜沉积为设备价值最高的三个流程，价值占比之和超过50%。

目前国内半导体设备龙头中微公司（SH688012，股价100.77元，市值621亿元）、北方华创（SZ002371，股价217.82元，市值1151.3亿元），均布局刻蚀机、薄膜沉积设备。而万业企业的雄心，显然并不局限于离子注入机。

在国内半导体晶圆制造蓬勃建厂之际，万业企业连续“出手”。2020年，万业企业完成全球知名的半导体设备流量控制领域公司Compart Systems的跨境并购；2021年，万业企业成立嘉芯半导体，业务覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多款集成电路核心前道设备。

据2022年中报，万业企业控股孙公司连续中标热处理设备、等离子刻蚀机、等离子薄膜沉积设备。

以等离子薄膜沉积为例，其与传统物理气相沉积、化学气相沉积技术上有无异同呢？万业企业回复记者称：“等离子增强化学气相沉积PECVD是90-28nm沉积介质绝缘层和半导体材料的主流工艺设备，优点是低温沉积、薄膜纯度和密度更高，沉积更快，适用于沉积大多数主流介质薄膜。相比传统的APCVD、LPCVD设备，PECVD设备已成为芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。”

同时，半导体设备行业也是技术密集型行业，对人才的要求相对较高。尽管多次并购，万业企业是否能够留住人才、培养人才呢？

对此，万业企业对记者表示，公司亦充分意识到人才的问题，公司转型成功与否很大程度上取决于人才方面。公司自从转型以来，对人才方面一直重视也取得一定成效。万业企业第一期员工持股计划推出于2021年4月，经过逾一年的施行已达成解锁条件成就，据年报显示2021年凯世通营收同比增长468.89%，符合业绩考核目标。总体而言，公司希望通过员工持股计划，使得员工和公司能更加紧密地同呼吸、共命运，共同拼搏，为后续几年公司的良好业绩打下好的基础，以此更好地回馈全体投资者。

每日经济新闻